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【技术资料】激光调阻技术(激光微调、激光调值)

日期:2016-07-04 来源:鼎城锌钢
      20世纪60年代初激光器问世一来,经过20多年的发展,现已成为一种非常成熟的技术,广泛用于混合电路制造业。国内外不少混合电路厂家都采用激光调阻工艺。与其他调阻技术相比,激光调阻的精度高,效率高。

      现代激光技术是制造高性能混合电路的重要手段。现代激光调阻技术不仅能对厚膜基片进行调阻,而且能对组装后的混合集成电路进行微调,保证电路的功能。随着混合电路向高性能、高可靠和高密度发展,激光调阻技术在混合电路制造中的作用日益突出。

      激光调阻机是一种精密的激光微调设备,它通过短脉冲激光扫描切割,改变电阻体的导电截面积,达到把低于目标阻值的电阻体修调到阻值允许的偏差范围内,适用于 片状电阻的快速大规模生产。它的主要构成为:一台输出脉冲频率可调的调Q脉冲Nd:YAG激光器,输出波长为1.06μm激光,经两轴偏转后,由光学系统 汇聚成25μm直径的光斑,照射到载台上的片式电阻基片上。基片电阻浆料层受激光加热气化,形成一定深度的刻痕,从而改变了电阻体的导电截面积和导电长 度。高速高精度在线电阻测量系统,测量电阻器的阻值,当阻值达到标称值时,由电控开关关断激光,完成此片式电阻的修整过程,全过程用时5-20ms。由一 台X-Y方向激光扫描振镜完成一行电阻器的修调。然后,运动控制系统驱动载片台向前运动一个行距的位置,重复上述过程完成第二行调阻,依此类推,直至调完 一片。所有上述工作在一台计算机统一控制下,协调高效地进行。

      激光精密加工在诸如薄膜电路的功能微调、压电石英谐振腔和单层滤波器的微调、光掩膜的修正、具有分布参数的超高频电路的微调、光学度盘和分划板的刻制等工业领域将得到越来越广泛的应用。
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